大盘维修服务

大盘维修服务

大盘维修

特别注明：现大盘维修项目只在加州提供，近期内将会移至无锡凯世通。

Core团队能够修理和翻新各种残旧和应用新技术的大束流离子注入大盘及其组件，包括Axcelis (Eaton),Varian公司的产品及应用材料。凭借公司在清洁、合成橡胶和硅涂层技术上的突破，我们确保技术性能达到甚至超过原厂家的标准。我们的领先技术能加速硅片冷却，延长涂层寿命，更符合环保需要。

针对某些大盘（VIISion 或Applied），单独的基座或是衬垫也接受维修委托。

完全拆卸和检查过后，工作人员会根据维修和翻新的要求进行评估。我们会用新的部件和涂层替换大盘以外的大部分旧零件，例如基座和钳夹等。装配和调试之后，我们会对大盘及其部件再次检验、清理、进行双重测试、双真空袋装以备发货。

Core能够为以下型号的大盘提供维修服务：

 Axcelis/Eaton NV series
Axcelis/Eaton GSD series (includes SEN SD series )
Varian VIISion (and E1000) series
Varian 80/12/160-10 and XP series
Varian High Energy(Genus)1500 and Kestrel series
AMAT 9000 series(heat sinks/pedestals only)